技术特点
【技术特点】-- FJ-620型分子泵机组
技术指标
进气口法兰:DN160 CF DN160 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN40
测量范围(Pa):1E-5~1E5
抽速速率(L/s):N2:600 He:380 H2:240 Ar:580
压缩比:N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9
极限压强(Pa):CF:5E-5;ISO-K:5E-5
建议启动压强(Pa):100
前级泵型号:RV6(default)
冷却方式:水冷/风冷
冷却水流量(L/min):>1
冷却水温度(℃):≤25
输入电压频率(V/Hz):380±20/50HZ 220±10/50HZ
环境温度(℃):水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃
安装方式:垂直
适配电源型号:FD-ⅡB(非标)/TCDP-Ⅱ(标准)
外形尺寸L*W*H(mm):550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口)
重量(kg):117
产品特性
【技术特点对用户带来的好处】-- FJ-620型分子泵机组
【典型应用举例】-- FJ-620型分子泵机组
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