主要部件

光学显微镜：正置式或倒置式

扫描头：检流计反射镜，实现X-Y高速扫描

       电动扫描台(Z方向扫描，50nm步长)

        三种光照模式:点聚焦光照，线性光照和飞点线性光照

激光器：标准波长：532nm and/or 785nm

        532nm激光器                           785nm激光器

        TEM ₀₀                                     TEM ₀₀

         高亮度(500mW)                      高亮度(500mW)

         高强度稳定性(<2%rms)          高强度稳定性(<1.5%rms)

        *其他波长的激光器根据要求配置

谱仪：

        三光栅配置，消除散光现象

        高效率涂层

        可调狭缝宽度(20-200μm)

焦距：500nm

准确度：0.2nm

重复性：0.05nm

电制冷CCD探测器：

        1340×400像素

        真空密封

        冷却温度：-70℃

信号噪音：5e^-rms以下

像素速率：100kHz and 2MHz

动态量程：16bit

成像性能(物镜×100，NA=0.90)

        空间分辨率(FWHM，X方向)：350nm

        空间分辨率(FWHM，Z方向)：1000nm

        视野：80×90μm

光谱性能(1200/mm-groove grating)

       光谱分辨率(FWHM)1.6cm^-1(Peak position accuracy :0.1cm^-1)

        拉曼偏移探测范围 80-4000cm^-1

外形尺寸：800mm×670mm×650mm

重量：75kg