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? 仪器尺寸：480mm W x 320mm D x 240mm H
? 工作腔室：硼硅酸盐玻璃 160mm Dia x 120mm H
? 真空系统： 涡轮分子泵，抽速为70L/s
旋转机械泵：抽速为2L/s两级旋转机械泵，带防返油电磁阀及油污过滤器
? 真空测量：采用复合真空计监测真空
? 极限真空度: 10-4mbar两级
? 工作真空度：10-1mbar（溅射真空度手动调整）
? 工作气体：溅射工作气体:氩气
? 溅射电流：0-20mA（磁控溅射靶0-100mA）
? 微调真空气阀：可连接φ3mm软管
? 电源：230伏/50Hz(包括泵最大电流为6安培)
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离子溅射仪
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