日立高新SU8000系列超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8010/SU8020/SU8030/SU8040

• *1：

• 用本公司样品拍的SEM像测量zei小颗粒间的夹缝

• *2：

• 127 mm×95 mm(照片尺寸 4“×5“)

• *3：

• 345 mm×259 mm(1,280×960 像素)

• *4：

• 自选配件

SU8010冷场发射扫描电子显微镜技术规格

1. 工作条件：

1.1 电力供应：220V（±10%），50Hz。

1.2 工作温度：15°C-20°C。

1.3 工作湿度：< 60%。

1.4 仪器运行的持久性：仪器可连续使用。

2. 设备用途：该电镜主要用于材料的微观表面观察与成份分析, 包括纳米结构材料的观察和表征。此外，还要求对一些容易受电子束损伤的样品和导电性非常差的样品可以在低加速电压和进行直接观察。

3. 技术规格：

该设备为先进的表面分析仪器，其由主机(包括电子光学系统、检测器系统、真空系统等)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件组成。

*3.1电子光学系统：

*3.1.1 分辨率： ≥1.0nm (加速电压15kV，工作距离4mm)

**≥1.3nm (照射电压1kV，使用减速装置)

3.1.2 加速电压：zei低  0.1kV； zei高 30kV；

3.1.3 放大倍数：zei小 ≥20倍； zei大≤ 80万倍（底片模式）

                zei小≥80倍； zei大≤200万倍（显示器模式）

可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率

**3.1.4电子枪：冷场发射电子枪

3.1.5电子束流： ≥1pA，且连续可变

3.1.6 对中：自动

3.1.7 聚焦：自动聚焦、带有手动聚焦

3.1.8 像散：自动，带有手动控制调节

**3.1.9 物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏

*3.1.10工作距离：zei小≥1.5mm，zei大≤30mm

**3.1.11 电位移：≥12um (WD=8mm)

3.2 样品室：

3.2.1 样品台： 3轴自动马达驱动 

3.2.2样品移动：X方向≤50mm；Y方向≤50mm；Z方向≤25mm；R = 360°连续旋转

3.2.3 样品倾斜角： -5～ +70°

3.2.4 样品防撞警报装置：有

**3.2.5配备样品交换仓，通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落。

样品zei大尺寸：≤100mm

3.3检测器：

**3.3.1 二次电子检测器： 配有高位以及低位二次电子探测器，高位探测器可选择接受二次电子像或背散射像，并以任意比例混合，在低压下（小于2kV）可以成背散射电子像。

3.4数字图像记录系统

3.4.1 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

3.4.2 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等

3.4.3扫描速度：

 **TV扫描 (640 ´ 480 pixel显示, 25/30 祯/s)

快速扫描(全屏显示, 6.25/7.5 祯/s)

慢速扫描(全屏显示, 1/4/20/40/80 s/祯)(640 ´ 480 显示, 0.5/2/10/20/40 s/祯)

*3.4.4 图像显示：不低于1280×960像素

*3.4.5 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素

3.4.6 图像类型： TIFF, BMP或JPEG

3.5控制系统

提供完整的系统操作控制系统。

*3.6 真空系统：

**3.6.1真空泵:机械泵，涡轮分子泵（磁悬浮型），离子泵

*3.6.2 真空度：电子枪部分优于10^-7Pa；样品室部分优于10^-4Pa

3.6.3 保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统

*3.6.4 真空计：潘宁规×1，皮拉尼规×2

*3.6.5防污染装置：液氮冷阱

**3.6.6样品更换时间：≤1分钟

3.6.7带“**”号指标为科研需要必须满足指标，否则视为不响应。提供原生产厂家（或国内总代理）授权书，并提供省内和国内同型号产品用户名单及厂家原版彩页为评标依据，原装进口。

4.仪器配置、附件及工具

4.1 配置要求

场发射扫描电镜主机                                  1套

自动变压器                                          1套

冷却循环水系统                                      1套

标准随机附件及工具                                  1套

4.2  标准随机文件

操作系统恢复盘 CD-ROM                               1件

测试报告                                            1件

软件 CD-ROM                                         1件

安装手册                                            1件

5. 技术服务：

5.1 设备安装、调试和验收

5.1.1卖方应在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询。

5.1.2 仪器到达用户所在地，在接到用户通知后一周内进行安装调试，直至通过验收。

5.2 技术培训：在用户所在地对用户进行为期1周的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。验收后半年内组织买方相关人员2人参加在厂家举办的相关应用培训班。

5.3 保修期：卖方提供一年的免费保修,保修期自仪器验收签字之日起计算。保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。

5.4 维修响应时间：卖方应在72小时内对用户的服务要求作出响应，维修服务包括电话指导和现场维修。

5.5 要求供货商在中国设有三个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。

5.6 要求供货商在国内设有自己的电镜应用中心。

5.7.交货时间：合同生效后五个月