技术特点
【技术特点】-- TGS 300真空紫外光谱仪
TGS 300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口,可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。
技术特点
单片式光学结构确保光通量zei大化,高光学稳定性。
HJYzl的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力。
超长的40mm光谱长度,横向滑动CCD测量更宽的光谱,纵向滑动CCD优化成像质量。
光谱覆盖zei低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。
支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置。
典型应用
极紫外和紫外等离子体光谱分析
紫外光源表征
激光高次谐波研究
EUV光源表征
技术指标
三块标准光栅可选 | |
2105 gr/mm | 光谱范围: 9.5 – 32 nm 中心波长: 12nm |
450 gr/mm | 光谱范围: 10 – 110 nm 中心波长: 15nm |
290 gr/mm | 光谱范围: 15.5 – 170 nm 中心波长 : 35nm |
光学设计 | HJYzl超环面消像差光栅 |
焦长 | 300 mm |
孔径 | f/20 |
分辨率 | 低至0.04nm (*) |
波长驱动 | 固定 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法兰 | DN40 KF |
Slits | 嵌入式 |
阵列探测器法兰 | DN100CF |
可选项: | |
狭缝 | 手控或自动 |
多光栅切换装置 | 光栅滑块可装载3块光栅,真空中灵活切换 |
超高真空 | 配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空 |
(*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。 |
附件
前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机,zei低至4K
真空泵
【技术特点对用户带来的好处】-- TGS 300真空紫外光谱仪
【典型应用举例】-- TGS 300真空紫外光谱仪
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