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TGS 300真空紫外光谱仪

tel: 400-6699-117 1000

堀场HORIBA光栅光谱仪(单色仪), TGS 300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真......

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技术特点
【技术特点】-- TGS 300真空紫外光谱仪

TGS 300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口,可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。
 
技术特点

  • 单片式光学结构确保光通量zei大化,高光学稳定性。

  • HJYzl的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力。

  • 超长的40mm光谱长度,横向滑动CCD测量更宽的光谱,纵向滑动CCD优化成像质量。

  • 光谱覆盖zei低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。

  • 支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置。


典型应用

  • 极紫外和紫外等离子体光谱分析

  • 紫外光源表征

  • 激光高次谐波研究

  • EUV光源表征


技术指标

 三块标准光栅可选
 2105 gr/mm 光谱范围: 9.5 – 32 nm
 中心波长: 12nm
 450 gr/mm 光谱范围: 10 – 110 nm
 中心波长: 15nm
 290 gr/mm 光谱范围: 15.5 – 170 nm
 中心波长 : 35nm
 光学设计 HJYzl超环面消像差光栅
 焦长 300 mm
 孔径 f/20
 分辨率 低至0.04nm (*)
 波长驱动 固定
 高真空 10-6 mbar
 真空泵法兰 DN40 KF
 Slits 嵌入式
 阵列探测器法兰 DN100CF
 可选项:
 狭缝 手控或自动
 多光栅切换装置 光栅滑块可装载3块光栅,真空中灵活切换
 超高真空 配合DN63CF真空泵法兰可达10-9 mbar超高真空
 (*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。

 TGS 300-02.jpg

附件

  • 前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配

  • 后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配

  • 样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品

  • 偏振插片

  • 制冷机,zei低至4K

  • 真空泵



【技术特点对用户带来的好处】-- TGS 300真空紫外光谱仪


【典型应用举例】-- TGS 300真空紫外光谱仪


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