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UVISEL Plus In-Situ series 在线椭偏仪

tel: 400-6699-117 6216

堀场HORIBA椭偏仪, 在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。......

在线客服

技术参数:

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化


  • Spectral ranges: 190-920 nm - 190-2100 nm

  • Light source: 75W Xe lamp or 150W Xe lamp

  • Detection: Single point or real-time spectral acquisition using high sensitivity, wide dynamic range PMT detectors or scanning monochromator for in-situ measurement in working environment for thin film deposition/etch control

  • Spot size @300: 50μm , 100μm & 1mm

  • Mechanical adaptation: CF35 or KF40 Flange


厂家资料

地址:上海市天山西路1068号联强国际广场A栋1层D单元

电话:400-6699-117 转 6216

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