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UVISEL Plus In-Situ series 在线椭偏仪

tel: 400-6699-117 6216

堀场椭偏仪, 在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。

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技术特点

【技术特点】-- UVISEL Plus In-Situ series 在线椭偏仪

在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。


技术参数:

·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化


主要特点:

将激发和探测头引入生产设备,可实现:

· 动态模式:实时监测膜厚变化

· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分




【技术特点对用户带来的好处】-- UVISEL Plus In-Situ series 在线椭偏仪


【典型应用举例】-- UVISEL Plus In-Situ series 在线椭偏仪



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