技术参数：
· 光谱范围：450-1000nm
· 多种微光斑自动选择
· zl光斑可视技术，可观测任何样品表面
· CCD探测器
· 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向
· 自动调节; Z轴高度>35mm
| Standard Configurations | |
|---|---|
| Spectra range: | 450nm to 1000nm |
| Spectra resolution | Better than 3nm |
| Light source | Combined Halogen and Blue LED |
| Measurement time | <1sec to 10 sec |
| Beam size | 75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm |
| Angle of incidence | 450 to 900 by step of 50 |
| Sample size | Up to 200mm |
| Sample alignment | Manual 17mm height adjustement and tilt |
| Dimensions | 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D) |
| Performances | |
|---|---|
| Straight-through air accuracy | Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20 |
| Thickness accuracy on 1000 Å Oxide | 0.04% |
| Thickness repeatability on 1000 Å Oxide | ±0.02% |
Options
Automated angle of incidence from 450 to 900 by step of 0.010
Motorized stage for 200mm and 300mm sample sizes
In-situ adjustable flanges for mounting on process chamber
Heating and cooling stages
Liquid and electrochemical cells
Cross hair auto-collimation system
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经销商
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