测量范围: 1 nm -800um
波长范围: 200 nm -1700 nm
光斑直径：200um-4um
适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
测量指标：薄膜厚度，光学常数
界面友好强大: 一键式测量和分析。
实用的工具：曲线拟合和灵敏度分析，背景和变形校正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和产线批量处理。
基本规格：
精度：<0.01nm或0.01%（在200nm氧化物上进行100次测量）
精度：<1nm或0.2%（取决于胶片堆叠）
稳定性：< 0.02nm或0.2%
光斑尺寸：4μm至200μm（典型值 - 取决于所使用的物镜）
样品尺寸：最大 200 mm
盒子里有什么
主机（包括光谱仪、光源）
带适配器的正置式检测显微镜附件、50W TH 照明器、2MB CMOS 相机和 4 个物镜转塔（包括一个 LWD 物镜）
光纤反射率探头
TF公司-RA软件，USB加密狗（许可证密钥），带有软分发的USB记忆棒，用户指南和其他材料
校准套件（裸硅晶圆和/或石英板和/或铝镜），具体取决于型号和黑色吸收器
测试样品200nm氧化硅或PET薄膜，取决于型号
USB 电缆（用于将主机连接到 PC）
24VDC电源适配器（110/220V）
| 选择 | 描述 | 备注 |
| -XY 映射阶段 | XY电动测绘级，支持控制器和测绘软件。 | 用默认包含的精细快速调整取代标准手动显微镜载物台（275mmx 275） |
| 150x150mm和200x200mm选项。 | ||
| 台阶尺寸： 0.5 μm; | ||
| 重复性：1μm。 | ||
| – 可见光和可见近红外LWD物镜 | -2x 透镜（200μm 测量） | 可见光镜片：430nm-900nm波长范围 |
| -10x 透镜（40μm 测量） | VisNIR镜头：450-1700nm波长范围 | |
| -20x 透镜（20μm 测量） | 兼容标准 LWD 长焦 95mm 镜头、安装螺纹 M26x36TPI（如 Mitutoyo） | |
| -50x 透镜（8μm 测量） | ||
| -100x 透镜（4μm 测量） | ||
| 标准 400μm 光纤光斑尺寸 | ||
| – 所有镜面消色差物镜 | 所有镜像 卡塞格林物镜： | LWD 95mm 多焦点物镜，带安装螺纹 M26x36TPI |
| -10x物镜；-15x 物镜；-20x物镜 | 完全覆盖 UVVisNIR 系统波长范围：190-1700nm |
| MPROBE 40 型号 | 波长范围，纳米 | 描述 | 厚度范围 | 备注 |
| MPROBE VIS-MSP | 400-1000nm | F4光谱仪，2048像素CCD，16位ADC，5W卤钨灯 | 10 纳米 – 75 微米 | 光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤 |
| MPROBE UVVISSR-MSP | 200纳米 -1100纳米 | F4 光谱仪， 2048 像素 （背面）， 16 位 ADC 20W TH 灯， 30W 氘短方形灯 | 1纳米 -75微米 | 光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm |
| MPROBE VISHR-MSP | 700纳米 -1100纳米 | F4光谱仪，2048像素CCD（背面），16位ADC，5W TH灯 | 1微米-400微米 | 光斑尺寸可低至 2μm，具有 100 倍物镜和 200μm 光纤 |
| MPROBE NIR-MSP | 900纳米-1700纳米 | F4 光谱仪， InGaAs 探测器 512 像素， 16 位 ADC， 5W TH 灯 | 50纳米 – 85微米 | 光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤 |
| MPROBE UVVISNIR | 200纳米 -1700纳米 | F4光谱仪，2048像素CCD（背衬），16位ADC 20W TH灯，30W氘短方形灯。 F4 分光镜，铯砷化镓探测器 512 像素，16 位 ADC，5W TH 灯 | 1纳米 -85微米 | 光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm |
| MPROBE UVVisF | 200纳米 -800纳米 | F4 光谱仪， 2048 像素 CCD， 16 位 ADC， 10W 或 20W Xe 闪光灯 | 1纳米 -5微米 | 光斑尺寸可低至 20μm，全反射物镜为 40 倍，光纤光源为 400μm |
| MPROBE NIRHR | 1500纳米 – 1550纳米 | F4 光谱仪、InGaAs 探测器 512 像素、16 位 ADC、5W TH 灯或 SLD 选项 | 10μm-1800μm （玻璃） 4μm-400μm （Si） | 光斑尺寸可低至 2μm，采用 100 倍物镜和 200μm 纤芯光纤 |
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