FSM-360
用于晶格水平应变和材料成分测量的微拉曼系统。高光谱分辨率(0.02 cm-1)和亚微米级横向分辨率。通过硅通孔(TSV)的测量可防止区域,局部应力和成分分析。全自动 C2C 系统。
FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。
利用微米直径光斑照射。
芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。
从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。
紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。
可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。
请扫描二维码查看详细参数
薄膜应力测试仪
售后服务
我会维修/培训/做方法
如果您是一名工程师或者专业维修科学 仪器的服务商,都可参与登记,我们的平台 会为您的服务精确的定位并展示。