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全自动紫外线芯片应力测量仪FSM360

tel: 400-6699-117 1000

FSM薄膜应力测试仪, 全自动紫外线芯片应力测量仪一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。

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FSM-360

用于晶格水平应变和材料成分测量的微拉曼系统。高光谱分辨率(0.02 cm-1)和亚微米级横向分辨率。通过硅通孔(TSV)的测量可防止区域,局部应力和成分分析。全自动 C2C 系统。



FSM360是一台全自动紫外线——可见光RAMan仪器,主要用与测量芯片应力。

利用微米直径光斑照射。

芯片会产生另外一个光束(Raman信号),Raman信号的频率有别于原来的光源。

从Raman信号频率我们可以测出样本的应力大小。

005.jpg

紫外线Raman主要用于薄膜或样本表面的应力测量。

可见光Raman主要用于多层薄膜或厚样本的应力测量。



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