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红外干涉测量设备FSM 413

tel: 400-6699-117 1000

FSM薄膜应力测试仪, zl红外干涉测量技术, 非接触式测量......

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测量方式: 红外干涉(非接触式)

样本尺寸:  50、75、100、200、300 mm

测量厚度: 30 — 780 μm (单探头)

3 mm (双探头总厚度测量)

扫瞄方式: 半自动及全自动型号,

另2D/3D扫瞄(Mapping)可选

衬底厚度测量: TTV、平均值、zui小值、zui大值、公差...

粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*

0.8 μm (1 sigma)双探头*

分辨率:   10 nm

设备尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 

重量: 500 lbs

电源 : 110V/220VAC      真空: 100 mm Hg

*样本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS)

** 150μm厚硅片(没图案、双面抛光并没有掺杂)



厂家资料

地址:上海市松江区莘砖公路518弄漕河泾开发区松江高科技园区28号楼3A

电话:400-6699-117 转 1000

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