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日立高分辨型双束系统NX5000

tel: 400-6699-117 1000

日立激光共聚焦显微镜, NX5000新型高分辨FIB-SEM双束系统采用冷场发射电子枪和全新的Aquila α镜筒,具有高分辨的观察能力。......

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技术特点
【技术特点】-- 日立高分辨型双束系统NX5000


NX5000新型高分辨FIB-SEM双束系统采用冷场发射电子枪和全新的Aquila α镜筒,具有高分辨的观察能力;同时大束流的离子枪和实时观察功能使其具有超高的加工效率。独特的第三束(Ar)加工可以避免样品损伤,为超薄样品和复杂的制备提供了新的解决方案,可以满足纳米材料、半导体材料、生物材料等多种样品的快速、无损、精细加工。


主要特点:

1.      高分辨冷场发射电子枪,实现高分辨观察(0.7nm@15kV)

2.      全新的Aquila α镜筒和多探测器实现不同观察目的

3.      大束流(100nA)、高稳定性离子枪实现快速加工

4.      实时观察、多探针系统和7轴样品台等技术有效防止窗帘效应

5.      第三束Ar的引入实现无损和超薄样品的加工

6.      多种沉积气体可选

7.      全自动TEM样品制备

 

应用领域:

纳米材料微加工

半导体及电子元器件加工

生命科学



【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高分辨型双束系统NX5000


【典型应用举例】-- 日立高分辨型双束系统NX5000


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