| X射线管 | fX-SEMTM | X-BeamTM |
| 阳极类型 | 底窗穿透型 | 侧窗型 |
| 靶材料 | Ag, Mo, & W | Ag, Cu, Mo, Rh & W |
| 加速电压 | 10-35kV | 0-50kV |
| 束流 | 0-100μA | 最大1mA |
| 阳极束斑大小 | <500μm | 10, 40μm |
| 准直器大小 | 200μm, 500μm, 1000μm(或其他) | zl的多毛细管聚焦光学系统 |
| 滤波片 | 根据需求可安装 | 根据需求可安装 |
| 冷却需求 | 传导冷却，不用风冷 | 功率>10瓦时，风冷；其余传导冷却 |
| 控制性/安全性 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示；与SEM互锁、键控电源开关、与高压电源互锁、高压警示 | 可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示、内部互锁阀；键控电源开关、高压警示 |
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