技术特点
【技术特点】-- XDV-µ测厚仪
特点
Advanced polycapillary X-ray optics that focus the X-rays onto extremely small measurement surfaces
先进的多毛细管透镜,可将X射线聚集到极微小的测量面上
现代化的硅漂移探测器(SDD),确保极高的检测灵敏度
可用于自动化测量的超大可编程样品平台
为特殊应用而专门设计的仪器,包括:
XDV-μ LD,拥有较长的测量距离(至少12mm)
XDV-μLEAD FRAME,特别为测量引线框架镀层如Au/Pd/Ni/CuFe等应用而优化
XDV-μ wafer,配备全自动晶圆承片台系统
应用:
镀层厚度测量
测量未布元器件和已布元器件的印制线路板
在纳米范围内测量复杂镀层系统,如引线框架上Au/Pd/Ni/CuFe的镀层厚度
对最大12英寸直径的晶圆进行全自动的质量监控
在纳米范围内测量金属化层(凸块下金属化层,UBM)
遵循标准 DIN EN ISO 3497 和 ASTM B568
材料分析
分析诸如Na等极轻元素
分析铜柱上的无铅化焊帽
分析半导体行业中C4或更小的焊料凸块以及微小的接触面
【技术特点对用户带来的好处】-- XDV-µ测厚仪
【典型应用举例】-- XDV-µ测厚仪
售后服务
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