可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

等离子加热、纯微波加热、传统电加热、混合加热

最大功率/ KW(连续、可调)

4

样品腔长度

标配100mm可根据用户需求订制

加热样品腔(材质)

石英管（微波等离子工作模式）

石英管&刚玉管（其它加热方式）

控温范围/℃

1100℃石英样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm、Φ100 mm 可选；

1500℃刚玉样品腔直径：Φ45mm、Φ60mm 可选；

温度测试元件

微波场专用传感器

温度分辨率/℃

0.1

样品台最高温度范围

室温-1200℃、更高温度可选配

控温精度/℃

1200℃以下±1；1200℃以上±2℃

温度偏差/℃

温度稳定波动度/℃

冷却方式

风冷

恒温区长度/mm

标配100mm可根据用户需求订制

升温速率(标配)

0～200℃/min（微波等离子工作模式除外）

任意设定，可编程、分段加热

温度控制方式

10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示

控制气体

控制气体：H2、CH4、Ar、N 2 、其它气体可选

流量控制

标配 2 套质量流量控制器：七星华创（真空保护阀门后置，匹配真空模式）；精度：0.8%

最大耐压

1MPa；控制响应时间：10ms

真空系统真空泵

RVP2008；压力范围：10 -3 Torr~760 Torr

最大抽速：8.5m 3 /h

真空计

数显真空计：1atm-10 -1 Pa

标配

质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件，可以内置实时显示和保存生长参数

气路其他配置

气柜、气路及阀门等

端口

不锈钢 KF50 法兰接口

电源电压（V）

220

微波泄漏量/ mW/㎝2

≤0.4

外型尺寸（长′宽′高）/mm

1100×750×1900