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真空系统选配：
●简单机械泵抽真空&不锈钢法兰
●10-1Pa量级：高档机械泵+真空计
●10-2Pa量级，高档机械泵+扩散泵+真空计
●10-3Pa量级，高档机械泵+分子泵+真空计
质量流量控制系统：
●简易流量控制器
●美国Alicat质量流量&控制器
●七星华创质量流量&控制器
●气路&气柜&各类阀门
●可配套计算机自动控制系统及软件
型号/model | WBMZL-2 | WBMZL-4 | |
可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
微波频率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
加热方式 | 纯微波加热、传统电加热、混合加热 | ||
最大功率/ KW(连续、可调) | 2 | 4 | |
最高工作温度/℃ | 1600 | ||
长期工作温度/℃ | ≤1500 | ||
温度测试元件 | 微波场专用传感器 | ||
温度分辨率/℃ | 0.1 | ||
控温精度/℃ |
1200℃以下±1；1200℃以上±2℃ | ||
温度偏差/℃ | |||
温度稳定波动度/℃ | |||
磁控管冷却方式 | 风冷 | ||
加热腔(材质) | 高纯石英 | ||
加热腔有效尺寸/mm | Φ100′120mm′3个 | Φ115′120mm′3个 | |
升温速率(标配) | 0～80℃/min 任意设定，可编程、分段加热 | 0～250℃/min 任意设定，可编程、分段加热 | |
温度控制方式 | 10段可设工艺参数，7寸触摸屏操作，带数据存储功能；提供手动、自动、恒温控制模式，曲线实时显示 | ||
电源电压（V） | 220 | ||
微波泄漏量/mW/㎝2 | ≤0.4 | ||
外型尺寸（长′宽′高）/mm | 750′650′800 | 1000′750′850 | |
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