激光器:193nm COMPexPro 102 ;波长193nm,脉冲宽度< 20ns
重复频率: 1-20Hz
能量密度: > 50 J/cm2
光斑尺寸: 2至300μm,多种尺寸可选
剥蚀池: 100mm x 100mm, TwoVol2
剥蚀形态:完全平整和均匀
XY 移动载物台:100mm x100mm 行程, 精度<1µm
质量流量控制器: 内置集成式,软件自动控制
ICP-MS 触发模式: 双向触发控制
主观测系统:高分辨数字摄像机, 15X-60X光学放大(物镜至摄像机的放大倍数),<2μm光学分辨率
辅助观察系统:25mm广角导航视野, 手触式LCD;导航屏幕
照明:高亮度 LED, 三种照明模式, 软件控制
偏振: 软件控制的旋转交叉偏振器
软件:全新ActiveView2软件
通用指标
整机安全等级: 完全保护, Class-1系统
保修期 :12 个月
尺寸 :81cm x 130cm x 148cm (D x W x H)
重量 :935lb (425Kg)
冷却方式: 风冷
平台: 先进的光路设计使仪器本身小巧紧凑,提高实验室效率
气体处理: 平台气体储存和处理
实验室要求
温度: 70oF + 10oF (21℃ + 3℃)
相对湿度: 20% - 65% 不冷凝
电源要求: 100-110V (AC), 3A, 50/60 Hz;220-240V (AC), 3A, 50/60 Hz
其他选配件
150mm x 150mm, TwoVol2 剥蚀池
第二路软件控制质量流量控制器, 用于N2载气控制
可供选择的多种剥蚀池技术,包括自我修复和冷冻池等
更高频率选择(100 Hz) ,水冷
可选矩形可旋转光斑(XYR),调节精度1μm,旋转角度精度1°
可选圆形无级可调光斑 (IVA) ,调节精度1μm
可选剥蚀池支架
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 NWR193HE 高能量准分子激光剥蚀系统 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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