性能参数
激光器:ESI 设计生产 Nd:YAG @ 266nm
光束束斑:内置初始波长的激光光束能量匀化功能,改善激光光束稳定性
频率:1-10Hz
光学能量衰减器:带1000步进的高分辨率的光学衰减器,可以实现激光光束能量精确控制
能量密度@样品表面:>20 J/cm2 @样品表面
光斑尺寸:13个圆形光斑尺寸,20-780µm;可拓展至1000µm
样品池:双体积样品池- TwoVol1
XY 平台:100mm x 100mm, 1µm 分辨率
质量流量控制器:标准: 0 – 1 L/min He MFC
信号触发:双向触发线;激光操作软件内置ICP-MS系统软件,真正的双向触发,实现更好的控制和自动化
主观察系统:全高清1080p数码相机;15倍至60倍放大倍数
辅助观察系统:25mm的宏观视野导航观察
照明系统:3个高强度LED光源(同轴,环形和透射);完全由软件控制
偏振器:旋转正交偏振器,软件控制
软件:超领先的最新版本ActiveView2 软件
基础规格
安全等级 完全联锁, Class 1类 激光系统
保修期:12 months
尺寸:81cm x 61cm x 48cm (32” x 24” x 19”) DxWxH
重量:91kg (200lb)
冷却系统: 闭环水冷
激光平台: 超稳定设计
安装环境要求
温度: 21°C ±3°C (70°F ±10°F)
相对湿度: 20% - 65% non-condensing
电源要求:100-110V (AC), 6A, 50/60Hz;220-240V (AC), 3A, 50/60Hz
选配附件
TwoVol2 样品池:准确度,精密度,吹扫时间,清洗时间等性能明显提高;可选尺寸: 100mm 或 150mm
质量流量控制器:Optional: 0 – 100 mL/min N2 MFC;Optional: 0 – 1 L/min Ar MFC
保修延期和服务合同:根据客户需求
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 NWR266-MACRO激光剥蚀进样系统 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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