靶材1 | 镓或铟贵金属合金 | 最小焦斑尺寸 | ~ 5 μm |
靶类型 | 液体射流 | 发射稳定性3 | < 1% |
电压 | 21-70kV/160KV | 空间稳定性3 | < 1 μm |
功率2 | 0-250 W | 最小焦物距4 | 18 mm |
最大电流 | 4.3 mA | 光束角5 | 13°/30° |
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