制 | 加热类型 | 5束激光 |
激光功率 | 2KW | |
熔区最高温： | ~3000℃* | |
测温范围 | 900℃~3500℃ | |
温度稳定性 | +/-1℃ | |
晶体生长控制 | 晶体生长最大设计长度 | 150mm* |
晶体生长最大设计直径 | 8mm* | |
晶体生长最大速度/转速 | 300mm/hr;100rpm | |
样品腔真空度/压力 | 10-4torr to 10 bar | |
样品腔气氛 | O2/Ar/混合气 | |
晶体生长监控 | 高清摄像头 | |
晶体生长控制 | PC控制 | |
其它 | 占地面积 | D140 xW210 x H200 (cm) |
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