技术参数
电子光学系统 | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次电子成像) 8nm(30kV, 背散射电子成像)) |
放大倍率 | 20x~150,000X | |
加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30~6step) | |
探测器 | 二次电子探测器(SE) 背散射电子探测器(BSE) | |
电子枪 | 预对中钨灯丝 偏压系统—自动偏压系统 | |
载台系统 | 载台运动 | 5轴系统 (电动式) X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° Z-轴: 0~40mm Tilt-轴: -15~90° X,Y轴偏移(Max.150μm) |
最大样品尺寸 | 80mm(Φ)*40mm(H) | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮度 |
图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
相机格式 | CCD相机 | |
真空系统 | 真空模式 | 高/低真空 |
真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动) | |
尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
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经销商
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