椭圆偏振测厚仪

tel: 400-6699-117 转 1000

拓普椭偏仪, 由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点，因而，椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广......

在线客服

参数指标

我要提交参数指标我要纠错

测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量最小示值：≤1nm 入射光波长：632.8nm
光学中心高：80mm 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±1nm和±0.01
主机重量：25kg 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°