【技术特点】-- 椭圆偏振测厚仪

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；
光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数，如：布儒斯特角法测介质膜的折射率，干涉法测膜厚，其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点，因而，椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。

【技术特点对用户带来的好处】-- 椭圆偏振测厚仪

【典型应用举例】-- 椭圆偏振测厚仪