自动椭圆偏振测厚仪

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拓普椭偏仪, 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。......

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参数指标

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测量范围：1nm-4000nm 折射率范围：1-10
测量最小值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盘刻度：每格1度允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180° 外形尺寸：680*390*310mm
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
主机重量：26kg
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
光学中心高度：80mm 成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件
成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）