包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
FILMeasure 8 软件
FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)
SS-3 样品平台 及對應 光纤电缆
参考材料
厚度标准
整平滤波器 (用于高反射基板)
备用灯
型号规格
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
F20 | 15nm - 70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm - 450μm | 1440-1690nm |
F3-sX 系列 | 10μm - 3mm | 960-1580nm |
*取决于薄膜种类
常见的选购配件：
SampleCam
StageBase-XY10-Auto-100mm
多厚度硅基上的二氧化硅标准
可追溯的 NIST 厚度标准
接触探头
携带箱
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