KLA-Tencor探针式台阶仪

产品型号： D600

品牌：科磊半导体

产品产地：深圳

产品类型：国产

原制造商：KLA-Tencor

状态：在售

厂商指导价格： 10~20万元[人民币]

上市时间： 2015年

英文名称： D600

优点：可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里（经市场验证）特别高精度的台阶仪产品。