分析元素范围:硫(S)~铀(U)
同时检测元素:zei多24个元素,多达5层镀层
检出限:可达2ppm,zei薄可测试0.005μm
分析含量:一般为2ppm到99.9%
镀层厚度:一般在50μm以内(每种材料有所不同)
重复性:可达0.1%
稳定性:可达0.1%
SDD探测器:分辨率低至135eV
先进的微孔准直技术:zei小孔径达0.1mm,zei小光斑达0.1mm
样品观察:配备全景和局部两个工业高清摄像头
准直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合
仪器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
样品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
样品台尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平台移动速度:额定速度200mm/s zei高速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度:小于0.1um
操作环境湿度:≤90%
操作环境温度:15℃~30℃
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