新一代的 X'Pert³ MRD 和的 X'Pert³ MRD XL 将延续帕纳科高分辨衍射仪(MRD平台)长期成功的历史。新平台可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力,同时,增加了对X射线散射研究的能力。
• 先进材料科学
• 科学和工业薄膜技术
• 半导体过程开发中的计量表征
凭借100×100 mm (X’Pert³ MRD) 或 200×200 mm (X’Pert³ MRD XL) 的全尺寸Mapping,两套系统均可以处理同样宽泛的应用领域。
X'Pert3 MRD
新一代的高分辨X射线衍射仪
仪器简介:
X'Pert PRO MRD/XL是高级半导体材料的标准装备,用于: 高级材料科学和纳米技术,半导体材料研究和生产质量控制,可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如: 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping, 反射率和薄膜相分析,残余应力和织构分析, X'Pert PRO MRD/ XL 满足半导体、LED、薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析,并有精密的自动晶片装载选择;XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段,LED的业界标准。
可以适用各种应用,尤其适合薄膜分析,例如:
· 振动曲线分析和交互空间图
· 反射仪和薄膜相分析
· 残余应力和织构分析
同已经证明的标准版本系统一样,还有许多专门的版本:
· X'Pert PRO MRD平面衍射系统,可以测量与样品表面垂直的晶格衍射
· X'Pert PRO Extended MRD 允许装备 X射线镜像和在线高分辨单色器,增强入射光束的强度。
· X'Pert PRO MRD XL 满足半导体,薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。
技术参数:
1、功率:3kW
2、测角仪重现性:0.0001度
3、测角仪类型:T-2T
4、五维样品台
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XPert Pro MRD高分辨衍射仪 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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