扫描器技术资料：

X-Y扫描范围：

100*100微米(高电压模式);

10*10微米(低电压模式)

高电压模式分辨率：闭环：2nm，开环：0.2nm

闭环线性度：0.1%

Z扫描范围：

10微米(高电压模式);

1微米(低电压模式);

分辨率：0.16纳米(高电压模式)，

0.02纳米(低电压模式)。