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MicroNano AFM-II型扫描探针显微镜

tel: 400-6699-117 1000

MicroNano扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM,

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  技术参数

  1.扫描系统:

  1.1 扫描模式:STM恒流/恒高模式,I-Z/I-V曲线;AFM接触/横向力模式,力曲线测量

  1.2 zei大扫描范围:50μm*50μm 单一多量程自适应扫描器不更换技术,zei大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率

  1.3 分辨率:

  STM:X-Y向0.1nm;Z向0.01nm;HOPG原子定标

  接触模式AFM:X-Y向0.2nm;Z向0.03nm;云母晶格定标

  单一多量程自适应扫描器不更换技术,zei大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率

  1.4 样品台尺寸:直径≤Φ65mm,厚度≤30mm,重量≤15g

  1.5 探针识别:自动识别当前针尖类型,软硬件自动切换到相应的工作模式,无需人工干预。

  1.6 探针保护:独特设计的针尖保护技术,包括自动进针保护和平滑移动保护,能有效降低样品对针尖的损伤,使仪器长时间保持高分辨图像。

  1.7 探针趋近:高精度高速伺服电机,控制针尖自动逼近样品,行程<30mm,步长<23nm

  1.8 样品移动:手动精密机械二维移动平台(移动范围5mm×5mm,精度3μm)。 可选配计算机控制高精度电控样品移动平台。

  1.9纳米加工:矢量刻蚀功能 、图形刻蚀功能

  2.控制系统:

  2.1 控制/采集精度:采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大zl技术,16通道双16位A/D (精度相当于23位);12通道16位D/A;4通道双16位D/A(精度相当于23位)

  2.2 反馈方式:8通道 数字化反馈+数控模拟反馈

  2.3 中枢控制器:32位ARM技术,16 M RAM ,2M Flash ROM

  2.4 高压单元:±300V 纹波噪声1.5mV;4通道双16位D/A(精度相当于23位)提供扫描器XYZ 三个方向的控制电压;可扩展到8通道

  2.5 计算机接口:EPP模式并行口 / USB2.0接口 可选

  2.6 扫描频率:0.1~300Hz

  2.7 扫描角度:-180~180连续可调

  2.8 图像采样点:128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可调

  2.9 电流检测灵敏度≤10pA

  2.10 力检测灵敏度≤5pN

  2.11预置隧道电流:1pA~50nA

  2.12 偏置电压:-10~+10V

  3.软件系统:

  3.1 操作系统:Windows 98/2000/XP

  3.2 在线控制软件:四窗口图像界面,可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能 : 一个参数改变,相关参数会根据系统经验自动调节到zei佳范围;压电陶瓷非线性校正,曲面拟合校正,样品倾斜校正等。

  3.3 图像处理软件:3D显示,滤波处理,图像修饰,边缘增强、形态学处理、图像格式转换,图像 几何变换、调色板设置等。

  3.4 数据分析软件:粗糙度分析,颗粒度分析,剖面分析,膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分析等。

  3.5 软件开发模板:便于用户进行二次开发,完成特殊的数据处理功能。

  3.6 软件服务包:软件以插件方式终身享受免费升级服务。

  4.工作条件:

  4.1 环境温度:0-35摄氏度

  4.2 相对湿度:0-65%

  4.3 工作电压:220V(±10%),50Hz

  5.可选配的功能模块技术参数--样品定位辅助模块

  5.1 高分辨CCD光学显微系统:在计算机上成像,用于观察探针和样品,放大倍数80—600倍,视场 1.6mm,工作距离10cm,配套控制及成像软件。一体式设计,工作过程中不必移开,可全程随时观测。

  5.2 高精度电控样品移动平台:计算机自动控制,配合光学显微系统进行精确样品移动和定位。全程可视

  5.2.1 移动范围5mm*5mm,单步zei小步长50nm

  5.2.2 高精度电控移动平台和单一大量程自适应扫描器技术结合,实现从zei大量程到zei小几纳米扫描范围内,全程计算机控制样品定位,无盲点

  5.2.3 直接用鼠标拖动待测区到目的地,计算机控制移动平台自动移动

  5.2.4 可任意设置原点位置,一键返回(计算机控制移动平台自动回到设置的原点位置)

  5.2.5 可任意标记多个测样点,编制定位路径,计算机控制移动平台自动到达各设定的测样点

  5.2.6 可直接输入X、Y方向移动数值,计算机控制移动平台自动定位国内独家配置,其它厂商只提供手动调节的精密螺杆移动平台,无法实现样品精密定位搜寻。

  5.3 单一 大量程自适应扫描器:zei大50μm扫描器可达HOPG原子分辨率 ,测样过程中不用更换扫描器可实现从50微米—几纳米扫描范围连续定位高精度成像(全球独有核心关键技术)

厂家资料

地址:上海市松江区玉树路269号5号楼3419室

电话:400-6699-117 转 1000

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