技术参数：

闭环扫描管：XY > 90 μm，Z > 7.5 μm

开环扫描管：XY > 5 μm, Z > 1.5 μm

样品尺寸： X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm

电动Z轴载物台：Z轴行程： 18mm

光学系统： 摄像头： 轴线彩色CCD，带电动变焦

视场： 1.24mm x0.25mm (电动变焦，10x物镜)

分辨率：<2μm，标准10x物镜(50x物镜<0.75μm)

电子电路：20位DAC控制器，100kHz、±10v ADCs，数字反馈器件

系统软件：用于数据采集和分析的SPMLab™ v7.0，Windows® XP

样品台移动范围：Z轴行程： 18mm

样品尺寸：X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm

定位检测噪声：<2μm，标准10x物镜