·系统功能

　　原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)

　　横向力/摩擦力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM)

　　扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, STM)

　　·分辨率

　　扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.1nm, 垂直 0.01nm

　　原子力显微镜(AFM)：横向 0.2nm, 垂直 0.1nm

　　·参数性能

　　X-Y扫描范围：～10μm

　　Z方向扫描范围：～2μm

　　图像分辨率：128X128, 256X256, 512X512, 1024X1024

　　扫描角度：0～360°

　　扫描频率：0.1～100Hz

　　·主控制系统

　　中央处理器:德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP)

　　高速16-bit DAC

　　高速16-bit ADC

　　高压扫描驱动：5路APEX集成高压运算放大器

　　通信接口：10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口

　　·机械性能

　　样品尺寸：zei大可达直径45mm，厚度15mm

　　全自动步进电机控制进样系统：行程15mm，定位精度50nm/步

　　·软件系统

　　基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和图像处理软件