技术参数:
原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜,真正非接触式原子力显微镜,横向力/摩擦力显微镜(LFM),导电原子力显微镜,磁力显微镜(MFM),开尔文探针(Kelvin Probe),扫描热原子力显微镜(SThM),电容和静电力显微镜(EFM),高级的纳米光刻和纳米操作能力,音叉原子力显微镜,三维扫描成像。
● 原子力显微镜扫描器zei大测量范围:110um X & Y range,22um Z range
● 大尺寸样品台,全自动测量zei大直径为160mm样品。
● PZT/Voice Coil双模式技术AFM
● 全自动运动平台,马达驱动
● zl批处理软件,自动图像拼接缝合技术,可以测量超大样品的三维形貌像
● 先进的32-bit DSP控制器,zl反馈技术(扫描范围>10um时zei高扫描20 Hz,消除爬行现象)
● 可以进行纳米压痕和划痕实验
● zl光学系统, XY闭环扫描技术
● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发
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