【技术特点】-- Park Systems原子力显微镜 XE-100

　　主要特点：

　　一、 计量精确

　　XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现精确纳米计量的能力。

　　二、 扫描器线形度高，直角正交

　　XE系列AFM采用了柔性扫描器zei大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和精度。

　　三、 非接触式扫描

　　可真正实现非接触式扫描是Park AFMzei显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。

　　四、 CrN样品测试结果

　　CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。

【技术特点对用户带来的好处】-- Park Systems原子力显微镜 XE-100

【典型应用举例】-- Park Systems原子力显微镜 XE-100