气体引入机理：单流路自动控制
泵：机械泵160L/min，分子涡轮泵50L/sec
SPM-9700主要技术指标：
主要技术指标
| 观察模式 | 标准 |
接触模式 动态模式 相位模式 水平力模式（LFM） 力调制模式 矢量扫描模式 |
| 选购件 |
磁力（MFM）模式） 电流模式 表面电位（KFM）模式 | |
| 分辨率 | XY | 0.2 nm |
| Z | 0.01 nm | |
| AFM头部 | 位移监测系统 | 光源/光杠杆/检测器 |
| 光源 |
激光二极管（On/Off均可） 更换样品无需调整光路 | |
| 检测器 | 光敏二极管 | |
| 扫描器 | 驱动元件 | 管状压电元件 |
|
zei大扫描范围 （X*Y*Z） |
30μm×30μm×5μm （标准） 125μm×125μm×7μm （选购） 55μm×55μm×13μm （选购） 2.5μm×2.5μm×0.3μm （选购） | |
| 样品台 | zei大样品形状 | φ24mm×8mm |
| 样品装载方式 |
头部滑动机构 悬臂安装状态下可直接装载样品 | |
| 样品固定方式 | 磁性固定 | |
| Z轴驱动机构 | 驱近方式 | 全自动驱近 |
| zei大可驱近范围 | 10mm | |
| 信号显示板 | 显示量 | 检测器的总入射光量（数字显示） |
| 减震机构 | 减震台 | SPM单元内置 |
| 光学显微镜观察 | 方式 | 分束器滑动机构 |
| 专用风挡 | 方式 | 无需或者使用气氛控制腔体 |
| 气氛控制 | 方式 | 无需改造SPM单元可直接导入气氛腔体 |
扫描范围：0.1nm扫描器zei大扫描范围
测定像素：2048*2048,1024*1024,512*512,258*258,128*128,64*64,32*32
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