INFICON 生产的Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两
种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大
种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大
气压(3.8x10-10 乇至大气压).
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
极好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
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真空计
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