Nanonex纳米压印系统NX-2500

规格参数：
1、热塑压印模块
      温度范围0～250oC
      加热速度>300oC/分钟 
      制冷速度>150oC/分钟 
      压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
2、紫外固化模块
      200W窄带紫外光源
      365纳米或395纳米波长可选 
      全自动化控制
3、对准模块
     <1μm 3σ对准准确率
     X, Y, Z, Theta平台
    分场光学和CCD相机
4、模版装载功能
     4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印
5、系统
     8”模板可升级
6、基板装载
     标配纳米压印系统可装载4″基板
     6″和8″基板可选
     各种尺寸及不规则形状模板及基
7、板均可压印
     独特zl保护ACP技术可限
8、度保护基板和模板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和 基板给予限度保护。