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多功能集成清洁和单分子层气态镀膜系统

tel: 400-6699-117 1000

NANONEX涂镀层及薄膜测厚仪, Ultra-100清洁和单分子层成膜机集成了清洁和单分子层气态成膜功能与一体,可以用于纳米压印模具和基板提供单分子层分辨能力的成膜和清洁任务,也可以广泛用于其他需要真空,紫外,加热,成膜的各种应用,诸如光刻模具的清洁和成膜处理等。

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系统参数

尺寸

  • 样品尺寸:上限是8”x8”

  • 腔体尺寸:10”x10”x5.75”

  • 全部机器尺寸:27”x21”x8.75”

 

典型基板

  • 硅和氧化硅

  • 砷化镓(GaAs)

  • 磷化铟(InP)

  • 玻璃,石英,熔石英

  • 金属

  • 陶瓷材料

 

气体,紫外Ozone和加热

  • 真空:< 100 mTorr

  • 最多4个气体接口可用于单分子气体镀膜

  • 2”直径排气管

  • 紫外灯波长:185纳米,254纳米,365纳米,436纳米

  • 紫外光功率:250瓦

  • 紫外光强度:> 10mW/cm2 (254nm波长)

  • 基板加热能力:700瓦,最大温度175摄氏度


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