主要技术指标
离子加速电压 | 2~8kV |
刻蚀速率 | 500μm/h |
承载样品的zei大尺寸 | 11mm(宽度)×10mm(长度)×2mm(厚度) |
样品摆动功能 | 刻蚀过程中,样品自动摆动±30° (zl:第4557130号) |
自动加工开始模式 | 达到设定的压力值后可自动开始加工。 |
间歇加工模式 | 脉冲控制离子束流照射,可以抑制加工时产生的热量。 |
精抛加工模式 | 主加工结束后,自动开始精抛加工。 |
*产品外观及技术规格可能未经预告而有所变更。
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经销商
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