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1200加长双温区CVD系统

tel: 400-6699-117 1000

煜志马弗炉/电阻炉/实验炉, 1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远超同行业标准。

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主要技术参数

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温度

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

 

加热系统

加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用;

加热区长度:350mm*2;

恒温区长度:450mm; 

工作温度:≤1150℃; 

最高温度:1200℃;

升温速率:推荐≤10℃/min;

最快升温速度30℃/min.

温控系统

日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 

测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃ 

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

法兰上预留一路浮子流量计,流量规格0.3-3L/min

真空系统

采用双极旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa

复合真空计显示,配置电阻规+电离规

抽速:110L/s,风冷式散热结构

配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀

可选配件

冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等

保修期

整机一年保修(相关耗材除外)


可根据客户要求定制!

售后服务

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