电子显微镜分析附件
QUANTAX 微区-XRF
痕量元素检测，简单样品制备
高速X-光面分布 大面积检测
膜厚检测
亮点
10 ppm 检测限：低背景噪音，痕量元素分析 极简制样：荷电样品无须喷碳 40 µm 层厚：从1 nm的薄膜到40 µm的多层结构均可检测 扩展SEM应用 - 用微区-XRF来增强您的 SEM EDS 微区XRF （X荧光分析）是一种的无损元素分析技术,可以与传统的SEM能谱同时使用。 M微区-XRF，也称为SEM XRF，使用X射线源来进行成分分析，可实现痕量元素检测、层厚分析和更高能量特征X射线的探测，拓宽客户SEMEDS的分析能力，并且测试时无需破坏样品，对样品无导电性、平整性等要求。 痕量元素检测 XRF-荧光分析可以得到更高能量的谱线（最高40keV), 可以检测到更低含量的元素（某些元素可以低至10ppm)，同时可以得到更大深度的样品信息。 可以用更小的光斑进行元素面分布测量 QUANTAX 微区-XRF XTrace 2所配备的是第二代光管，具有更高的X光密度，光斑尺寸最小可到10微米。 多层样品分析 X光穿透能力更强，因此使用微区荧光可以对1nm直到40微米的多层样品进行直接分析，这是电子束所无法达到的深度。 QUANTAX Micro-XRF: 由EDS 探头与 X-光管组成 ，可以与SEM/EDS同时使用进行分析 电子束和X光源同时激发能谱信息 获得更全面的信息 - SEM EDS和微区XRF可以使用户得到更多的信息。 得到更多的元素信息 - 轻元素（碳到钠）可以通过电子束激发，而重元素可以通过X-光束激发。 一次测量得到两个谱 - EDS和微区XRF由同一支探头采集，在得到轻元素谱图的同时可以得到痕量元素的更高能量谱线的信息。 得到更干净的数据 - 更宽的能量范围可以得到更多的K线信息，K线系分得更开，不容易出现重叠的情况。 节省时间 - 样品无须处理，不需要对样品表面进行抛光和喷镀。 QUANTAX 微区-XRF与 XFlash® EDS 探头使 XTrace 2 X-光源与SEM的电子束的结合使SEM的分析能力进一步提升 QUANTAX 微区 - XRF 系统的组成 QUANTAX 微区-XRF 系统主要由以下几部分组成： XTrace 2 50 kV X-光光源 ESPRIT 软件用于分析和数据处理 XFlash® EDS 探头 ( SEM已有或额外装配) 快速样品台 (选配件) 
XTrace 2 - 用于SEM/微区XRF的新一代X-光光源 XTrace 2是用于SEM的QUANTAZ 微区-XRF系统的新一代X-光光源 (SEM XRF)。具有更高的功率，使用户可以更快速地得到分析结果。 新光源的新特点，比如可调的束斑尺寸；光阑管理系统；自动滤膜切换系统，使得一些困难的样品也可以得到更好的处理。 能量可达50kV，束流可达1000微安，这使得采集的速度更快，信息更准确。 可自动切换的六个滤片可以更好地去除背底。 新的光阑系统（AMS）可以使图像具有更好的景深，使表面高度差比较大的样品可以得到更清晰的图像。 FlexiSpot模式可以调节束斑的大小，适用于不均匀或不规则的样品。 不使用的时候可以自动将X-光光源移出。 可以保存测量位置并自动回访进行相应的微区XRF/电子束分析。 自动的X-光光源加热程序可以有效延长其使用寿命。 所有功能，测量，滤膜选择，光管移动等，均由Esprit软件平台控制。 XTrace 2 - X-光光源 新特点 光阑管理系统 (AMS) 用于表面不平样品 XTrace 2具有专利的AMS系统，这使得表面形貌比较复杂的样品也可以得到很好的图像分辨率。 AMS系统可以得到更好的景深，在不同工作距离上都得到更好的聚焦，保证了起伏较大的样品表面在三维上的元素面分布信息的空间分辨率。 黄铁矿(FeS2)样品图像对比，左图是没有使用AMS的图像，右图是使用AMS，500微米光阑的图像，可以看出使用AMS的图像景深更好。 新特征 FlexiSpot - 可变光斑尺寸 FlexiSpot功能使用户除了最小的束斑尺寸（1微米，35微米）还可以选择使用更大的束斑（50-500微米）。用户可以通过ESPRIT软件控制X-光光源的进出来调整束斑的大小。 大束斑可以采集更大范围的数据，一次测量的结果具有更好的统计准确度，可以在不均匀的样品，形状不规则的样品以及表面不平的样品上得到更准确的测量结果。 使用不同束斑尺寸测量硬币样品 新特征 自动切换的六档滤膜可以更好地过滤背景 新一代的 XTrace 2 配有六种滤膜，可以有效过滤0 - 40 keV整个能量范围的背底，进一步提高检测的灵敏度。 新的过滤功能使用户可以通过ESPRIT软件的操作来直接降低背景干扰，得到更好的检测结果。 不同滤膜的过滤效果 新特征 光源自动伸缩功能 毛细管束 X -光源可以通过马达台进行自动伸缩 新特征 安全锁 SEM样品仓的开关状态可以集成到XTrace 2的安全控制回路中，当SEM的样品仓打开的时候，X-光光源的门会保持关闭状态，以使用户不会经受 X-光的辐射。此功能适用于不同类型的SEM。 附件 快速样品台 - 快速大面积元素面分布 快速样品台（Rapid Stage）是专门装在SEM样品台上的压电陶瓷样品台，最快速度可达4mm/s，可以实现快速的大范围的元素面分布检测。 使用快速样品台可以快速采集样品的元素面分布信息，样品尺寸可达50 X 50mm 或更大，不仅可以采集轻元素面分布，还可以用XRF采集高能谱线，得到痕量元素的分布信息，快速易用。 快速样品台与 XTrace 2 一起，都可以通过Esprit软件来控制。
XTrace 是一款可搭配在任意一台具有倾斜法兰槽SEM上的微焦点X射线源。 利用该设备可使SEM具备完整意义上的微区XRF光谱分析能力。对于中等元素至重元素范围内的元素，其检测限提高了20-50倍。此外，因为X射线的信号激发深度甚于电子束，利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。本设备采用了X射线毛细导管技术，利用该技术，即使在非常小的样品区域也能产生很高的荧光强度。X射线毛细导管将X射线源的大部分射线收集，并将其聚焦成直径35微米的一个X射线点。
X射线毛细导管技术使荧光强度得到极大的增强，同时，荧光光谱的背底较低，这些都提高了系统对痕量元素的敏感度。 相较于电子束激发的信号，其检测限可提高20-50倍。而且，因为X射线源激发信号对于高原子序数元素更有效，所以高原子序数元素检测限可提高至10ppm。
用户友好型设计
聚焦于分析任务，而非繁琐的系统设置
利用ESPRIT HyperMap进行面分布分析的同时采集了所有的数据并存储，便于后续的离线分析。
样品可利用EDS系统和micro-XRF系统并行进行分析，而无需任何的样品移动。
两种分析方法无缝整合在同一分析软件 ESPRIT中，切换分析方法只需轻点鼠标。
XTrace 不会干扰任何SEM及EDS操作。
仅需点滴投入，即可获得独立微区荧光光谱仪的强大功能
分析结果可与独立系统媲美。
样品倾斜后可对更大区域进行面分布分析。
提供三个初级滤片以压制衍射峰。
直接利用扫描电镜的样品台，无需其它的样品台装置。
通过扫描电镜样品台的旋转轻松避免谱图中衍射峰的出现。
可倾斜样品以获得zei小束斑直径。
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除厂家/中国总经销商外，我们找不到
布鲁克XTrace 2 XRF/QUANTAX Micro-XRF高性能微区荧光光谱仪 的一般经销商信息，有可能该产品在中国没有其它经销商。
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