混气装置：采用异形气体混合仓与气体扰流板技术

控制系统：全自动控制，并可对配气方案进行程序控制，实现流量、使用气体、使用时间的随意编程

气路系统：使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式，使系统耐腐蚀、气密性好

气路控制系统：使用日本SMC电磁阀，并为每个气路设置单向阀，已防止气体逆行，所有电磁阀均由软件控制配气方案，可根据求，实现对每组气体的流量进行编程调整，即流量的多段控制

应用气体：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等

流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选

工作压差：(0.1 ~ 0.5) MPa

工作耐压：3MPa

重复精度：±0.2%

工作精度：±1%

工作温度：5 ℃ ~ 45 ℃

操作系统：全自动软件控制，置入智能触控系统，实现流量、使用气体、使用时间的任意编程

气路系统：使用美国Clippard电磁阀，为每个气路设置单向阀，防止气体逆行，所有电磁阀均由软件控制

混气通道：2通道/3通道/4通道可选，使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式，系统耐腐蚀、气密性好

流量控制：高精度质量流量控制器，标配量程100～1000ml/min，其它量程可选配

应用气体：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等

流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选

                  2通道：2套MFC

                  3通道：3套MFC

                  4通道：4套MFC

进气及出气：进气口：安装2～4个进气接口，能同时进行2～4种气体组分的混合

                     出气口：接口数量可根据使用需求选择（4个/ 3个/2个/1个），接口尺寸根据对接设备定制

MFC精度：±1%F.S～±1.5%F.S（可选七星华创/汇博龙或其他进口品牌）

重复性：±0.2%F.S

工作温度：5 ℃ ~ 45 ℃

应用气体：氨气、氮气、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪气、氯化氢、氧气、氢气、一氧化氮、一氧化碳等