技术参数

1.极限真空：1×10-9Pa

2.前级泵抽速：采用I-PID技术可调

3.供电系统：与MPSC控制系统集成

4.控制系统：采用MPSC控制系统，可智能控制并有效协调前后级工作状态

硬件系统：

1.前级泵采用德国莱宝双极旋片真空泵

2.分子泵采用德国莱宝涡轮分子泵

3.配置高精度德国莱宝压力传感器

4.配置独有NF法兰接口

5.配置MPSC控制主板