高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop

整体扫描范围的0.1%呈线性

通过1次校准，2次校准，提高数据可靠性

Scan范围

Scan范围：100um，150um, 300um, 500um, 10mm

变焦镜头

变焦镜头: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x

物镜

 2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x

干涉镜头

干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x

干涉镜头(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x

Multi滤光镜

多种滤光镜选择

调整干涉镜头

随温度变化的干涉纹样调整

操作台

真空操作台，选择操作台，Aligner操作台