SD-160离子溅射仪_参数指标

溅射气体

溅射靶材

溅射电流

溅射速率

样品仓尺寸

样品台尺寸

工作电压

根据实验目的可添加氩气，氮气等多种气体。

标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

最大电流

50mA,最大工作电流30mA

优于4nm/min

直径160mm，高120mm

样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台

220V

(可做110V),

50HZ

需要镀膜的样品

电子束敏感的样品	非导电的样品	新材料
主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；	由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信噪比，从而获得更好的成像质量。	非导电材料实验电极制作观察导电特性

SD-160离子溅射仪