技术参数

共聚焦显微镜头

◆ 光源：LED

◆ 寿命（h）：＞50，000

◆ 采用步进电机时的测量范围（mm）：50

◆ 采用压电执行器时的测量范围（μm）：100 / 150

◆ 最高垂直分辨率（nm）：30

◆ 最高横向分辨率（μm）：3

◆ 工作距离（mm）：50

◆ 选件：根据不同的原理配置不同的传感器：三坐标测量，共聚焦，自动聚焦，彩色聚焦；能减振的工作台；用户定制的工件夹具；空气轴承工作台。