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技术指标
| 缝隙宽度: | 从 0 到 400 μm 可变 |
| 狭缝高度: | 0 到 20 mm |
| 狭缝取向: | 倾斜可调节 |
| 楔 形: | 光圈刃片数可调 |
| 光圈刃片: | 不锈钢, 光学抛光到45度, (根据要求提供的其他几何形状) |
| 平 直 度: | 整个高度优于 10 μm |
| 光滑的边缘: | 1 to 2 μm |
| 接 口： | DN 100 CF |
| 附 件: | 圆柱型法兰外壳直径: 165 mm |
| 总 长: | 50 mm, 用千分尺测量高度: 268 mm |
| 重 量: | 7.5 kg |
附 件
♦ 真空密封
♦ 安装螺丝
♦ 定制刀片
♦ 调校工具
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