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参数
透镜直径 | 3到20 mm | |
焦距 | 3到50 mm | |
数值孔径 | 可达0.3 (F/1.5) | |
焦距 | 灵敏度 | < 0.1 % |
| 精度 | < 0.5 % | |
| 重复精度 | < 0.4 % | |
像差 | 取样数 | 可达120x120 |
| 灵敏度 | 2 nm | |
| 精度 | 10 nm | |
| 动态范围 | 50 μm (球面) | |
FTM | 灵敏度 | < 1% |
| 频率 (@550 nm) | 可达1200 cc/mm |
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