光致发光测试仪

      4-inch Desktop   8-inch Desktop  Robot I System   Robot II System

1、外延尺寸(最大12” ): 2“-4“             2“-8“           2“-8“         2“-8“

2、工作台尺寸(W×D×H):18“×18“×14“  18“×18“×14“  32“×32“×68“   57“×32“×68“

3、外延装载功能：        manual           manual      manual/robot      robot

4、装载盒数量：           n/a               n/a             1          up to 3

5、装载盒检测：           n/a               n/a            yes           yes

6、外延尺寸检测：         n/a               n/a            yes           yes

7、装载盒外延映射：       n/a               n/a            yes           yes

8、预对准：               n/a               n/a            yes           yes

9、外延片快速映射功能测试：

      标准：EL（电致发光）,PL（光致发光）,EL / PL相结合,IV,反向特性,翘曲。

      可选：膜厚测试 ，GaN on Si特征，测试温度控制。*

10、光谱检测范围：从紫外到近红外（默认为200nm—800nm）

11、光谱分辨率：0.5-2 nm，取决于光谱范围选择和系统配置

12、测试项目：

   1、电致发光Mapping：

      波长--WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

      强度—辐射/发光功率，转换效率。

      电流—正向电流/电压，导通电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻

正向漏电流，串接电阻，理想因子，等。

   2、光致发光：

      波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

      强度—辐射/发光功率，转换效率。

   3、IV特性Mapping：

      正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，等。

4、其他特性Mapping：
      翘曲度

     薄膜厚度*

5、测试曲线类型：

      特定驱动电流/电压的电致发光光谱

      光致发光谱

      LIV—电流/发光强度— 电压

      输出强度— 驱动电流

      波长&半高宽— 驱动电流

      反向IV 

6、CVD外延布局Mapping:

      对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局图

注意：软件可以客制化，可为客户特殊的器件参数做mapping图

13、激发源：EL: Keithley 数字电源;PL:405nm标配，请联系MaxMile配置其他激发源。

14、EpiEL探针类型：Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si

15、电流测试：>10 -12A

16、控制单元与操作系统:EpiEL内部电脑使用64位微软Windows7/8操作系统

17、采样点/采样步骤：

    1、电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。

    2、光致发光采样点可以由最终用户（高分辨率应用于高要求的应用，快速扫描可用于批量生产的质量控制。

    3、用户可自定测试点的布局。

18、测试时间：每片外延片测试约0.5-12分钟，这取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置的不同之处; 光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。

19、报告生成与数据展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping颜色编码:彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由最终用户指定的颜色类型。

21、电源：15A/110VAC 或是10A/220VAC（最大电压）;机器人系统需要真空。

22、环境条件:温度： 15℃ - 30℃ ，相对湿度：30％ -70％无凝结。