一、匀胶机性能指标:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm;
3、转动速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec(空载);
5、马达旋涂转速:稳定性能误差<± 1 %;
6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高 精 度 数 码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技 术研究院(NIST)认证 过的,并且不用校准!]
12、配套真空泵系统:无 油 型 220~240伏交流,50/60赫兹;
13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
14、原装 进 口 水平测试仪;
应用领域:
钙钛矿太阳能电池Perovskite solar cells
OPV有 机光伏
OLED有 机发光二 极管
OFET & TFT有 机场效应晶体管&薄膜晶体管
Graphene &2D石墨烯&二维材料
Substrates衬底
Materials材料
半导体专用检测仪器设备
售后服务
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